在精密光學(xué)、半導(dǎo)體和制造領(lǐng)域，表面形貌測(cè)量對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量控制至關(guān)重要。ZYGO共聚焦激光干涉儀結(jié)合共聚焦顯微技術(shù)與激光干涉測(cè)量原理，為納米級(jí)表面檢測(cè)提供了有效的解決方案。

技術(shù)特點(diǎn)

ZYGO共聚焦激光干涉儀的主要優(yōu)勢(shì)包括：

• 高分辨率測(cè)量：可實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)垂直分辨率，適用于超光滑表面檢測(cè)

• 非接觸測(cè)量：避免接觸式測(cè)量可能帶來(lái)的樣品損傷

• 快速掃描：通過(guò)高速數(shù)據(jù)采集提升檢測(cè)效率

• 寬范圍適用：兼容從粗糙到超光滑的不同表面特性

典型應(yīng)用場(chǎng)景

該設(shè)備已成功應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域：

• 光學(xué)元件檢測(cè)：透鏡、反射鏡等光學(xué)表面形貌測(cè)量

• 半導(dǎo)體制造：晶圓、光刻掩模版的表面質(zhì)量評(píng)估

• 精密加工：機(jī)械零件、模具的表面粗糙度分析

• 科研領(lǐng)域：新材料表面特性的微觀研究

智能化操作體驗(yàn)

設(shè)備配備專(zhuān)業(yè)分析軟件，提供：

• 自動(dòng)化測(cè)量流程

• 三維形貌重建功能

• 多種表面參數(shù)分析選項(xiàng)

• 用戶(hù)友好的操作界面

結(jié)語(yǔ)

ZYGO共聚焦激光干涉儀憑借其測(cè)量精度和可靠性，為工業(yè)檢測(cè)和科學(xué)研究提供了有力的表面分析工具。如需了解該設(shè)備的詳細(xì)技術(shù)參數(shù)或應(yīng)用案例，歡迎咨詢(xún)ZYGO專(zhuān)業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)獲取更多信息。ZYGO共聚焦激光干涉儀高精度表面測(cè)量選擇