Zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀以其高分辨率和穩(wěn)定性，在微納制造領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。Zygo干涉儀在微納測(cè)量中的優(yōu)勢(shì)

產(chǎn)品細(xì)節(jié)

該設(shè)備采用白光干涉技術(shù)，可測(cè)量透明、半透明及不透明材料的表面形貌。其算法能夠有效消除環(huán)境振動(dòng)和噪聲干擾，提高測(cè)量重復(fù)性。

性能特點(diǎn)

• •支持多種物鏡切換，適應(yīng)不同放大需求。

• •軟件提供多種分析工具，如粗糙度計(jì)算、臺(tái)階高度統(tǒng)計(jì)等。

• •可搭配自動(dòng)載物臺(tái)，實(shí)現(xiàn)批量樣品檢測(cè)。

參數(shù)表（示例型號(hào)：Zygo NewView 7300）

• •垂直重復(fù)性：±0.02 nm

• •最大掃描速度：50 μm/s

• •視場(chǎng)范圍：0.1×至50×可調(diào)

• •數(shù)據(jù)輸出格式：CSV、Excel、3D STL

用途

適用于LED芯片檢測(cè)、生物醫(yī)學(xué)器件測(cè)量、超精密加工表面評(píng)估等。

使用說(shuō)明

1.安裝并校準(zhǔn)干涉儀。

2.選擇測(cè)量區(qū)域并調(diào)整光強(qiáng)。

3.運(yùn)行自動(dòng)掃描，獲取表面數(shù)據(jù)。

4.使用軟件進(jìn)行三維形貌重建與分析。Zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀

Zygo干涉儀在微納測(cè)量中的優(yōu)勢(shì)