澤攸 ZEM20：兼顧效率與細(xì)節(jié)的電鏡

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澤攸 ZEM20：兼顧效率與細(xì)節(jié)的電鏡
適用于電子器件失效分析、生物樣品的超微結(jié)構(gòu)觀察等領(lǐng)域。

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更新時(shí)間：2025-10-21

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產(chǎn)品分類

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臺(tái)式電鏡&臺(tái)階儀&原位分析

澤攸澤攸臺(tái)式掃描電鏡澤攸臺(tái)階儀澤攸探針臺(tái)及低溫系統(tǒng) 澤攸TEM原位方案(樣品桿) 澤攸SEM原位解決方案

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澤攸電鏡 ZEM20 在設(shè)計(jì)上注重平衡測(cè)量效率與成像質(zhì)量，其電子槍采用 LaB6 燈絲，較傳統(tǒng)鎢燈絲具有更高的亮度和更長(zhǎng)的使用壽命，在相同加速電壓下能獲得更清晰的圖像。

加速電壓可在 1 - 20kV 范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)，束流穩(wěn)定度優(yōu)于 2%/h，確保長(zhǎng)時(shí)間觀察時(shí)圖像質(zhì)量的一致性。分辨率方面，二次電子像在 30kV 下可達(dá) 3.0nm，背散射電子像為 5.0nm，能滿足多數(shù)材料的納米級(jí)結(jié)構(gòu)分析需求。澤攸 ZEM20：兼顧效率與細(xì)節(jié)的電鏡

樣品臺(tái)采用高精度步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，移動(dòng)范圍為 X/Y ±5mm，Z 軸調(diào)節(jié)范圍 10mm，定位精度達(dá) 1μm，可實(shí)現(xiàn)樣品的精準(zhǔn)定位與多區(qū)域觀察。設(shè)備配備數(shù)字成像系統(tǒng)，圖像采集速度達(dá) 15 幀 / 秒，支持實(shí)時(shí)觀察與快速存儲(chǔ)。

用材上，鏡筒內(nèi)部關(guān)鍵部件采用無(wú)氧銅材質(zhì)，經(jīng)特殊工藝處理減少雜散磁場(chǎng)干擾；真空系統(tǒng)由機(jī)械泵與分子泵組成，抽氣時(shí)間短，從大氣到工作真空（≤5×10??Pa）約需 8 分鐘。

使用說(shuō)明中明確了操作步驟：開(kāi)機(jī)預(yù)熱 30 分鐘后，加載樣品并抽真空，待真空達(dá)標(biāo)后設(shè)置加速電壓與放大倍數(shù)，通過(guò)搖桿控制樣品臺(tái)移動(dòng)至觀察區(qū)域即可成像。適用于電子器件失效分析、生物樣品的超微結(jié)構(gòu)觀察等領(lǐng)域。澤攸 ZEM20：兼顧效率與細(xì)節(jié)的電鏡

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