技術(shù)演進(jìn)

STM7系列延續(xù)了奧林巴斯50年測量顯微鏡研發(fā)經(jīng)驗，其UIS2光學(xué)系統(tǒng)較前代產(chǎn)品提升15%的透光率，配合主動反射共聚焦自動聚焦系統(tǒng)，使Z軸測量精度達(dá)到0.1μm級。該技術(shù)已通過ILAC-MRA認(rèn)證，滿足ISO 17025實驗室校準(zhǔn)要求。

關(guān)鍵性能指標(biāo)

1. 重復(fù)性
   在20℃恒溫環(huán)境下，STM7-LF型號的XY軸重復(fù)測量誤差（10X物鏡），Z軸（50X物鏡），符合半導(dǎo)體行業(yè)SEMI標(biāo)準(zhǔn)。

2. 可追溯性
   每臺設(shè)備出廠前均經(jīng)過JCSS認(rèn)證機構(gòu)校準(zhǔn)，提供包含測量不確定度評估的校準(zhǔn)證書。某汽車廠商通過該功能實現(xiàn)全球工廠測量數(shù)據(jù)互認(rèn)，減少跨區(qū)域質(zhì)檢爭議。

3. 兼容性
   支持導(dǎo)入DXF/CAD圖紙進(jìn)行比對測量，例如在檢測航空零件時，可直接將設(shè)計圖紙導(dǎo)入軟件，自動計算實際尺寸與理論值的偏差。

型號選擇建議

• 小型電子廠：STM7-SF（50mm載物臺）搭配5×-100×物鏡，滿足SMT貼片元件檢測需求。

• 精密模具廠：STM7-MF（200mm載物臺）配置電動載物臺與自動測量軟件，實現(xiàn)模具型腔批量檢測。

• 半導(dǎo)體晶圓廠：STM7-LF（300mm載物臺）集成花崗巖基座與共聚焦聚焦系統(tǒng)，應(yīng)對12英寸晶圓檢測挑戰(zhàn)。