微觀(guān)形貌與宏觀(guān)效能：ZYGO白光干涉儀應(yīng)用

從新材料研發(fā)到元器件生產(chǎn)，對(duì)產(chǎn)品表面特性的把控日益重要。ZYGO ZeGage Pro 3D光學(xué)輪廓儀作為一款計(jì)量級(jí)儀器，其價(jià)值在于將微觀(guān)的表面形貌轉(zhuǎn)化為可量化、可分析的宏觀(guān)數(shù)據(jù)，為決策提供依據(jù)。

該儀器的性能特點(diǎn)在于其靈活性和適應(yīng)性。它提供多種規(guī)格的物鏡和可選配件，用戶(hù)可以根據(jù)待測(cè)樣品的大小、材質(zhì)和反射率，選擇合適的配置。對(duì)于透明薄膜或低反射率樣品，可選配專(zhuān)門(mén)的附件來(lái)獲得良好的干涉信號(hào)。

產(chǎn)品在選材和制造工藝上體現(xiàn)了對(duì)長(zhǎng)期可靠性的關(guān)注。核心的光學(xué)部件在潔凈環(huán)境中裝配和調(diào)校，以減少內(nèi)部瑕疵。機(jī)械結(jié)構(gòu)經(jīng)過(guò)有限元分析優(yōu)化，具有較好的剛性，旨在抑制外部振動(dòng)和自身運(yùn)行產(chǎn)生的微振動(dòng)。

參數(shù)與型號(hào)概覽：

ZeGage Pro的用途延伸至多個(gè)前沿領(lǐng)域。在新能源領(lǐng)域，可測(cè)量電池隔膜的孔隙結(jié)構(gòu)和電極涂層厚度；在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，可用于分析植入物表面的粗糙度及其與細(xì)胞的相互作用；在顯示技術(shù)領(lǐng)域，能測(cè)量OLED材料和微透鏡陣列的三維形貌。

使用說(shuō)明中，其軟件的高級(jí)分析功能值得一提。除了基本的高度、寬度、體積測(cè)量，還能進(jìn)行形貌分離（去除形狀誤差看粗糙度）、頻率分析、紋理方向分析以及多區(qū)域?qū)Ρ冉y(tǒng)計(jì)。對(duì)于科研用戶(hù)，其開(kāi)放的數(shù)據(jù)接口允許導(dǎo)出原始數(shù)據(jù)，進(jìn)行自定義的深度分析。

ZYGO ZeGage Pro 3D光學(xué)輪廓儀更像是一個(gè)平臺(tái)，通過(guò)其模塊化的設(shè)計(jì)和強(qiáng)大的軟件分析能力，協(xié)助用戶(hù)在各自的專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域內(nèi)不斷探索和發(fā)現(xiàn)表面形貌背后的奧秘。

微觀(guān)形貌與宏觀(guān)效能：ZYGO白光干涉儀應(yīng)用