探索布魯克輪廓儀表面測(cè)量應(yīng)用

布魯克ContourX-500三維光學(xué)輪廓儀通過(guò)白光干涉技術(shù)，為表面測(cè)量提供了一種解決方案。其設(shè)計(jì)兼顧了實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)場(chǎng)景的需求，可用于多種材料的形貌表征。

產(chǎn)品采用模塊化設(shè)計(jì)，包括照明系統(tǒng)、干涉物鏡、載物臺(tái)和檢測(cè)單元。照明系統(tǒng)使用長(zhǎng)壽命LED光源，波長(zhǎng)范圍覆蓋可見(jiàn)光區(qū)域。干涉物鏡支持5種可選放大倍率，從2.5倍到50倍，用戶可根據(jù)樣品特征靈活選擇。載物臺(tái)由不銹鋼和鋁合金構(gòu)成，帶有真空吸附孔，可固定不規(guī)則樣品。檢測(cè)單元配備高靈敏度CCD傳感器，捕捉干涉條紋。

性能上，ContourX-500能處理從鏡面到漫反射表面的測(cè)量，垂直重復(fù)性在標(biāo)準(zhǔn)條件下表現(xiàn)穩(wěn)定。掃描模式包括單次拍攝和垂直掃描，適用于不同高度變化的樣品。系統(tǒng)噪聲水平較低，有助于提升測(cè)量數(shù)據(jù)的可靠性。

參數(shù)表：

• 型號(hào)：ContourX-500

• 光源類型：LED白光

• 物鏡倍率：2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X

• 傳感器分辨率：1024 x 1024像素

• 最大采樣率：120Hz

• 工作距離：10mm至45mm（依物鏡而定）

• 尺寸：450mm x 450mm x 500mm

• 操作溫度：15°C至30°C

應(yīng)用方面，該儀器可用于微電子元件的高度測(cè)量、光學(xué)鏡面的面形分析、材料表面的缺陷檢測(cè)，以及生物醫(yī)學(xué)材料的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)研究。在質(zhì)量控制和生產(chǎn)過(guò)程中，它能提供表面參數(shù)的定量數(shù)據(jù)。

使用時(shí)，先安裝合適的物鏡，放置樣品并調(diào)整位置。通過(guò)軟件選擇測(cè)量區(qū)域和掃描參數(shù)，校準(zhǔn)參考光路后開(kāi)始采集。數(shù)據(jù)經(jīng)軟件處理，可輸出高度圖、截面曲線和統(tǒng)計(jì)結(jié)果。定期校準(zhǔn)和光學(xué)清潔有助于保持性能。

ContourX-500的功能設(shè)計(jì)面向?qū)嶋H測(cè)量任務(wù)，為用戶提供了一種表面分析工具。