詳解ZYGO 干涉儀操作指南與軟件體驗

ZYGO ZeGage Pro 是一款非接觸式的3D光學(xué)輪廓儀，致力于為科研與工業(yè)領(lǐng)域提供表面形貌的測量方案。它基于相干掃描干涉技術(shù)（CSI），能夠?qū)某饣轿⒋植诘母鞣N表面進行三維形貌測量和二維輪廓分析。

ZYGO ZeGage Pro的用戶體驗旨在簡化操作流程，讓用戶能夠?qū)Ｗ⒂跍y量結(jié)果而非復(fù)雜的儀器設(shè)置。從開機測量到生成報告，流程清晰直觀。

初始設(shè)置與校準： 儀器出廠前已完成預(yù)校準。用戶在日常使用中，主要通過軟件向?qū)нM行簡單的日常校驗即可，確保了測量的可靠性。更換物鏡后，系統(tǒng)通常能自動識別并加載相應(yīng)的校準參數(shù)。

測量流程：

1. 樣品放置： 將樣品平穩(wěn)放置在樣品臺上。

   
   

2. 選擇物鏡： 根據(jù)樣品特征大小和所需視野，通過軟件或手動轉(zhuǎn)盤選擇合適倍率的干涉物鏡。

   
   

3. 對焦與預(yù)覽： 使用軟件的自動對焦或手動對焦功能，使樣品圖像清晰顯示在實時預(yù)覽窗口中。

   
   

4. 設(shè)置掃描參數(shù)： 定義垂直掃描的起始點和結(jié)束點。軟件通常提供“快速估測"功能來輔助設(shè)置。

   
   

5. 開始測量： 點擊測量按鈕，儀器將自動完成掃描和數(shù)據(jù)采集過程，耗時從幾秒到幾分鐘不等。

   
   

軟件分析功能： ZeGage Pro搭載的軟件是其強大功能的延伸。它提供豐富的分析工具：

• 形貌視圖： 以2D線輪廓、3D等高線圖或3D渲染圖顯示表面形貌。

  
  

• 參數(shù)分析： 自動計算并輸出一系列國際標準化的粗糙度（Sa, Sq...）、波紋度、臺階高度、體積等參數(shù)。

  
  

• 高級處理： 提供數(shù)據(jù)濾波、去除傾斜、形式移除、缺陷分析等功能，以提取所需的特定信息。

  
  

• 數(shù)據(jù)導(dǎo)出： 測量結(jié)果和數(shù)據(jù)可以多種格式（圖片、視頻、文本數(shù)據(jù)）導(dǎo)出，便于存檔和融入第三方軟件進行進一步處理。

  
  

• 配方功能： 對于重復(fù)性檢測任務(wù)，可以創(chuàng)建和保存測量“配方"，實現(xiàn)一鍵式自動化測量，減少人為操作差異，特別適合生產(chǎn)環(huán)境。

  
  

通過友好的軟件界面和邏輯清晰的操作步驟，ZeGage Pro使得高精度的3D表面測量變得易于上手和執(zhí)行，降低了用戶的操作門檻。

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