基恩士 VK?X3000 激光共聚焦顯微鏡概覽

基恩士 VK?X3000 是面向材料形貌與尺寸測(cè)量的激光共聚焦顯微系統(tǒng)。該儀器采用激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化三種掃描原理，可根據(jù)樣品的材質(zhì)、形狀和測(cè)量范圍靈活切換，實(shí)現(xiàn) 42?28800 倍的放大范圍，無需手動(dòng)對(duì)焦。

產(chǎn)品細(xì)節(jié)

• 光源：激光（波長 ≤?405?nm，壽命 ≥?1?萬小時(shí)）+ 白光 LED（壽命 ≥?3?萬小時(shí)），滿足高功率、長壽命需求。

• 光學(xué)系統(tǒng)：雙共焦針孔、遠(yuǎn)心鏡頭設(shè)計(jì)，確保整體測(cè)量精度；配備 292 種分析工具，可實(shí)現(xiàn)高度、尺寸、粗糙度等多維度測(cè)量。

• 掃描性能：面掃描最高 125?Hz，線掃描最高 7900?Hz，支持高速 3D 形貌獲取。分辨率可達(dá) 0.01?nm，重復(fù)性 1?σ ≤?12?nm（高度）/40?nm（寬度）。

• 檢測(cè)器：光電倍增管 16?bit，具備高靈敏度光電探測(cè)能力。

主要參數(shù)表

適用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體器件三維形貌與尺寸檢測(cè)

• 微電子封裝結(jié)構(gòu)分析

• 高分子材料表面粗糙度測(cè)量

• 生物醫(yī)學(xué)樣本的形態(tài)學(xué)觀察

使用說明要點(diǎn)

1. 樣品準(zhǔn)備：確保樣品表面清潔、平整；對(duì)透明或高反射樣品可選用白光干涉模式。

2. 模式選擇：在軟件界面選擇激光共聚焦、白光干涉或聚焦變化；系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)匹配對(duì)應(yīng)光學(xué)路徑。

3. 參數(shù)設(shè)定：設(shè)定掃描范圍、分辨率、幀數(shù)；推薦先使用低分辨率預(yù)掃描定位感興趣區(qū)域。

4. 自動(dòng)聚焦：系統(tǒng)具備自動(dòng)聚焦功能，啟動(dòng)后可在數(shù)秒內(nèi)完成對(duì)樣品的最佳焦點(diǎn)定位。

5. 數(shù)據(jù)導(dǎo)出：測(cè)量結(jié)果可導(dǎo)出為 CSV、TXT、DXF 等通用格式，便于后續(xù)統(tǒng)計(jì)與 CAD 處理。