通過對(duì)每個(gè)像素點(diǎn)的干涉信號(hào)進(jìn)行算法處理，可以精確地確定出該點(diǎn)光強(qiáng)最大時(shí)所對(duì)應(yīng)的掃描位置，從而計(jì)算出該點(diǎn)相對(duì)于參考鏡的高度。最終，將所有像素點(diǎn)的高度信息組合起來，就構(gòu)成了樣品表面的三維形貌圖。這種方法的測(cè)量精度與光源的波長(zhǎng)緊密相關(guān)，因此能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)別的垂直分辨率。

ZeGage Pro在設(shè)計(jì)上考慮了測(cè)量的便利性。它內(nèi)置了PZT（壓電陶瓷 transducer）掃描器，能夠以較高的重復(fù)性進(jìn)行精密的垂直掃描。同時(shí)，儀器集成了自動(dòng)光強(qiáng)控制功能，可以根據(jù)樣品反射率的差異自動(dòng)調(diào)整光源亮度，避免信號(hào)過飽和或不足，從而擴(kuò)展了可測(cè)樣品的范圍，從高反光金屬到低反光黑色材料均可適應(yīng)。

這種非接觸的測(cè)量方式不會(huì)對(duì)樣品表面造成劃傷或污染，對(duì)于柔軟、易損或珍貴的樣品而言，是一種合適的測(cè)量選擇。此外，由于測(cè)量速度快，可以在短時(shí)間內(nèi)完成大面積掃描，有助于提高檢測(cè)效率。了解其技術(shù)原理，用戶就能理解為何在測(cè)量前需要進(jìn)行光強(qiáng)調(diào)整、為何要選擇適當(dāng)?shù)膾呙璺秶?，從而在操作中做出合理的參?shù)設(shè)置。