Linkam 高溫真空熱臺維護與故障排查指南

產(chǎn)品簡介

Linkam 高溫真空熱臺維護與故障排查指南
設備的長期穩(wěn)定運行離不開規(guī)范維護。本文針對TS1500V的常見維護項目與故障處理方法展開說明，幫助用戶延長設備壽命。

產(chǎn)品型號：TS1500V

更新時間：2025-10-23

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：62

產(chǎn)品咨詢 17701039158

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

Linkam 高溫真空熱臺維護與故障排查指南

設備的長期穩(wěn)定運行離不開規(guī)范維護。本文針對TS1500V的常見維護項目與故障處理方法展開說明，幫助用戶延長設備壽命。

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真空度無法達標：可能原因包括密封圈老化、泵組故障或腔體泄漏。排查步驟：先更換密封圈，若無效則檢查機械泵油位（需保持在視鏡中線），最后用檢漏儀定位泄漏點。
溫度超調(diào)：多因PID參數(shù)設置不當。可嘗試恢復出廠參數(shù)，或根據(jù)樣品類型重新整定（如陶瓷樣品增大積分系數(shù)，金屬樣品減小比例系數(shù)）。
樣品臺卡阻：長期高溫可能導致陶瓷樣品臺與支架輕微粘連。解決方法是冷卻至室溫后，用軟質(zhì)鑷子輕推樣品臺，或在接觸面涂抹少量高溫潤滑脂（需耐1500℃）。