探秘澤攸ZEM20掃描顯微鏡核心技術(shù)解析

ZEM20掃描電鏡具備多項特色技術(shù)。其一，真空分隔設(shè)計實現(xiàn)了電子槍、樣品倉的獨立真空，避免了頻繁換樣對電子槍壽命的影響，同時提升了效率。其二，設(shè)備集成光學(xué)導(dǎo)航與艙內(nèi)攝像頭，用戶可通過實時圖像精準(zhǔn)定位樣品，并在原位實驗中監(jiān)測動態(tài)變化。其三，采用一體式聚光鏡結(jié)構(gòu)，無需手動調(diào)節(jié)光闌，所有操作均通過鼠標(biāo)完成，降低了使用門檻。其四，信號采集帶寬達到10M，支持高速掃描與視頻模式實時觀察。此外，ZEM20還提供豐富的原位拓展功能，可兼容多種自研附件，如拉伸臺、加熱臺、冷臺等。這些特點使ZEM20在臺式電鏡中表現(xiàn)出較好的集成度與功能性

ZEM20掃描電鏡集成了多項創(chuàng)新技術(shù)，其中具特色的是其獨特的真空系統(tǒng)設(shè)計。該系統(tǒng)采用兩級真空結(jié)構(gòu)，通過分子泵與機械泵的組合，實現(xiàn)了樣品室的快速抽真空能力。在標(biāo)準(zhǔn)工況下，從大氣壓狀態(tài)到可工作的高真空狀態(tài)僅需約3分鐘。這種快速抽真空能力使得設(shè)備特別適合需要頻繁更換樣品的科研環(huán)境。

另一個值得關(guān)注的技術(shù)特點是其電子光學(xué)系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用三級電磁透鏡設(shè)計，配合可自動對中的光闌機構(gòu)，確保了電子束的穩(wěn)定性。電子光學(xué)系統(tǒng)的加速電壓可在1-20kV范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)，束流大小通過軟件自動控制。設(shè)備還配備了獨特的減速模式功能，在該模式下，樣品臺可施加負偏壓，有效減緩入射電子能量，減少樣品充電效應(yīng)，特別適用于觀察非導(dǎo)電樣品。

信號采集系統(tǒng)采用10MHz帶寬的前端放大電路，支持從慢掃描拍照到實時視頻觀察的多種工作模式。在視頻模式下，幀率最高可達25幀/秒，便于用戶實時觀察樣品動態(tài)變化或快速尋找感興趣區(qū)域。探秘澤攸ZEM20掃描顯微鏡核心技術(shù)解析