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ZYGO 3D光學輪廓儀附件與選型建議

產(chǎn)品簡介

ZYGO 3D光學輪廓儀附件與選型建議
通過合理搭配附件與擴展功能,ZeGage Pro 可進一步適配多領(lǐng)域復雜測量需求,而科學的選型則能確保設備性能與實際需求精準匹配,大化發(fā)揮其檢測價值。

產(chǎn)品型號:ZeGage Pro
更新時間:2025-10-23
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:160
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ZYGO 3D光學輪廓儀附件與選型建議

一、核心附件類型與適配場景
(一)樣品臺類附件
  1. 真空吸附樣品臺(ZGP-ST01)

適配柔性薄膜、輕薄樣品(如 PET 膜、金屬箔),通過 0.03-0.05MPa 可調(diào)吸附壓力,使樣品平整貼合臺面,避免測量時褶皺。安裝時直接替換原有樣品臺,連接設備自帶氣路接口即可使用,適合半導體薄膜、光學薄膜等需高精度平整測量的場景。
  1. 自動樣品臺(ZGP-ST02)

X/Y 軸行程 100mm×80mm,定位精度 0.0005mm,支持預設 10 個測量點位,自動完成多區(qū)域批量檢測。需在 MetroPro 軟件中 “設備設置" 里勾選 “自動樣品臺" 并校準,適配半導體晶圓、批量機械零件等需高效檢測的場景,可將單批次檢測時間縮短 40%。
(二)光學類附件
  1. 偏振光模塊(ZGP-OP01)

安裝在物鏡與干涉儀之間,通過調(diào)節(jié)偏振角度(0°-90°)減少透明樣品(如玻璃、樹脂)的反光干擾,提升成像對比度。在光學鏡片、透明陶瓷檢測中啟用,配合軟件 “增強對比度" 功能,可使表面紋理清晰度提升 30%。
  1. 高倍物鏡(ZGP-OBJ100)

100X 倍率,水平分辨率 0.32μm、垂直分辨率 0.03nm,適配微小結(jié)構(gòu)測量(如芯片納米級凸起、光學元件微透鏡)。更換時需輕擰原物鏡后裝新物鏡,再通過軟件 “物鏡校準" 功能用標準樣板驗證精度,適合精密半導體、微光學器件檢測場景。
(三)輔助類附件
  1. 防磁屏蔽板(ZGP-SH01)

2mm 厚坡莫合金材質(zhì),放置在樣品臺與設備主體間,削弱磁性樣品(如永磁體、電磁鐵芯)的磁場干擾。無需復雜安裝,直接鋪墊即可,適配機械領(lǐng)域磁性零件(如電機鐵芯)的表面粗糙度、臺階高度測量,可將磁場導致的測量偏差控制在 0.002μm 內(nèi)。
  1. 標準樣板套裝(ZGP-CA01)

包含臺階樣板(高度 0.1μm、1μm、10μm)、粗糙度樣板(Ra=0.01μm、0.1μm、1μm),用于設備日常校準與精度驗證。每次更換物鏡或維護后,用對應樣板校準,確保測量誤差符合要求,是實驗室計量、質(zhì)量管控的備附件。
二、軟件擴展功能
  1. 高級分析模塊(ZGP-AN01)

需在 MetroPro 軟件中輸入授權(quán)碼激活,新增 “3D 模型對比"“缺陷統(tǒng)計分析" 功能:前者可將測量的 3D 形貌與 CAD 設計模型疊加,自動標注偏差區(qū)域;后者支持統(tǒng)計缺陷數(shù)量、尺寸分布,并生成直方圖報告。適配精密模具、航空零件等需深度數(shù)據(jù)分析的場景。
  1. 遠程控制功能(ZGP-RC01)

安裝遠程控制插件后,在局域網(wǎng)內(nèi)通過電腦、平板端訪問設備,實現(xiàn)遠程啟動測量、查看數(shù)據(jù)。需在軟件 “網(wǎng)絡設置" 中配置 IP 地址,支持 3 個用戶同時訪問,適配多實驗室協(xié)作、無人值守檢測場景,方便異地數(shù)據(jù)共享。
三、設備選型建議
(一)按行業(yè)場景選型
  1. 半導體行業(yè)

優(yōu)先選 “基礎(chǔ)機 + 自動樣品臺 + 100X 物鏡 + 偏振光模塊",滿足晶圓批量檢測、芯片納米級結(jié)構(gòu)測量需求,兼顧效率與精度。
  1. 光學制造行業(yè)

推薦 “基礎(chǔ)機 + 真空吸附樣品臺 + 偏振光模塊 + 標準樣板套裝",適配透明光學元件(鏡片、薄膜)的平整度、厚度測量,確保光學性能檢測準確。
  1. 機械制造行業(yè)

可選 “基礎(chǔ)機 + 防磁屏蔽板(按需)+50X 物鏡",滿足機械零件表面粗糙度、臺階高度測量,若需批量檢測可加配自動樣品臺。
(二)選型注意事項
  1. 精度匹配:根據(jù)測量需求選擇物鏡(低精度選 5X-20X,高精度選 50X-100X),避免過度追求高倍導致效率浪費;

  1. 功能適配:柔性樣品必選真空吸附樣品臺,透明樣品優(yōu)先加偏振光模塊,批量檢測再考慮自動樣品臺;

  1. 后續(xù)擴展:預留附件接口(如氣路、數(shù)據(jù)接口),方便后期加裝新附件,減少設備更換成本。

通過合理搭配附件與擴展功能,ZeGage Pro 可進一步適配多領(lǐng)域復雜測量需求,而科學的選型則能確保設備性能與實際需求精準匹配,大化發(fā)揮其檢測價值。


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