ZYGO 從2D到3D表面評估的跨越

產(chǎn)品簡介

ZYGO 從2D到3D表面評估的跨越
傳統(tǒng)上，許多行業(yè)依賴輪廓儀或二維圖像分析來評估表面質(zhì)量，這些方法僅能提供線條或平面的有限信息。ZYGO ZeGage Pro光學(xué)輪廓儀實(shí)現(xiàn)了從二維到真實(shí)三維表面評估的跨越，它提供的全場三維形貌數(shù)據(jù)，帶來了更全面、更真實(shí)、信息量更豐富的表面表征能力，推動了質(zhì)量控制與研究的范式轉(zhuǎn)變。

產(chǎn)品型號：ZeGage Pro

更新時間：2025-12-17

廠商性質(zhì)：代理商

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激光干涉儀

ZYGO光學(xué)輪廓儀 Zygo激光干涉儀

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ZYGO 從2D到3D表面評估的跨越

傳統(tǒng)上，許多行業(yè)依賴輪廓儀或二維圖像分析來評估表面質(zhì)量，這些方法僅能提供線條或平面的有限信息。ZYGO ZeGage Pro光學(xué)輪廓儀實(shí)現(xiàn)了從二維到真實(shí)三維表面評估的跨越，它提供的全場三維形貌數(shù)據(jù)，帶來了更全面、更真實(shí)、信息量更豐富的表面表征能力，推動了質(zhì)量控制與研究的范式轉(zhuǎn)變。

二維輪廓測量（如觸針式輪廓儀）沿一條線掃描，獲得一條高度輪廓曲線，從中提取Ra, Rz等參數(shù)。光學(xué)顯微鏡或電子顯微鏡提供表面的二維圖像。這些方法都有其局限性：輪廓儀是“一維"的，可能錯過線外的特征；二維圖像缺乏高度信息，無法計算體積、坡度等功能參數(shù)。

ZYGO ZeGage Pro通過白光干涉測量，一次性獲取整個視場內(nèi)數(shù)十萬至上百萬個點(diǎn)的三維坐標(biāo)（X, Y, Z），形成一個數(shù)字化的表面“地貌圖"。這一跨越帶來了多方面的根本性提升：

1. 信息完整性：

全場數(shù)據(jù)：不再只是單條線或一個圖像，而是整個區(qū)域的高度場?？梢杂^察表面紋理的分布、各向異性、缺陷的位置與集群情況。
真實(shí)三維形貌：可以直接觀察凹坑、凸起、劃痕、孔洞等特征的立體形態(tài)，而非其在二維平面上的投影。

2. 參數(shù)豐富性與功能性：

三維粗糙度參數(shù)：可以計算ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)中定義的一系列三維面積參數(shù)，如算術(shù)平均高度Sa、均方根高度Sq、偏斜度Ssk、峰度Sku等，這些參數(shù)比二維的Ra, Rq更能反映表面的統(tǒng)計特性。
空間與功能參數(shù)：可以計算紋理方向Str、自相關(guān)長度Sal等空間參數(shù)，以及基于Abbott-Firestone曲線的功能參數(shù)，如核心粗糙度深度Sk、減小峰高Spk、減小谷深Svk、表面支承率Smr等。這些參數(shù)與表面的摩擦、潤滑、密封、涂漆附著等性能直接相關(guān)。
體積與面積測量：可以直接計算磨損體積、材料損失量、孔隙體積、表面積增大比率等，這在磨損研究、涂層評估中ji具價值。

3. 分析與診斷能力的飛躍：

任意截面分析：可以在三維形貌圖上任意位置、任意方向截取無數(shù)條二維輪廓線進(jìn)行分析，而不jin限于固定的一條。
三維形貌運(yùn)算：可以進(jìn)行三維濾波（分離形狀、波紋度、粗糙度）、布爾運(yùn)算（與CAD模型比對）、形態(tài)學(xué)操作等。
缺陷的自動識別與統(tǒng)計：基于三維形貌，可以更準(zhǔn)確地設(shè)置閾值來自動識別顆粒、劃痕、凹坑，并統(tǒng)計其數(shù)量、尺寸、體積分布。
可視化與演示：三維形貌圖、等高線圖、偽彩色圖等可視化手段，使得表面狀態(tài)一目了然，便于溝通和演示。

應(yīng)用實(shí)例的對比：

評估一個拋光表面：2D輪廓儀可能給出一個良好的Ra值，但3D測量可能發(fā)現(xiàn)表面存在周期性的波紋（由Rsm參數(shù)或FFT分析揭示），這可能在光學(xué)應(yīng)用中造成散射。
分析一個磨損表面：2D方法只能估計線磨損深度，3D方法可以精確計算整個磨損區(qū)域的體積損失。
檢查一個噴涂表面：2D圖像無法判斷橘皮紋理的高度，3D測量可以量化橘皮的幅度和波長。

ZYGO ZeGage Pro實(shí)現(xiàn)的從2D到3D的跨越，本質(zhì)上是將表面評估從基于“抽樣"和“投影"的簡化模型，升級為基于“全域"和“實(shí)體"的數(shù)字化復(fù)制。這使得工程師和研究人員能夠以前所未you的深度和廣度理解表面，做出更精準(zhǔn)的工藝決策和質(zhì)量判斷，真正將表面計量帶入了三維數(shù)字化時代。

ZYGO 從2D到3D表面評估的跨越

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