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ZYGO 對強散射表面的測量策略 對于噴砂、噴丸、涂層、鑄件、生物組織等具有強散射特性的表面，傳統(tǒng)白光干涉測量可能因信號微弱和散斑噪聲而面臨挑戰(zhàn)。ZYGO ZeGage Pro通過結(jié)合其白光干涉模式和可能的共聚焦成像技術(shù)，并輔以優(yōu)化的光學(xué)配置與算法，為這類難以測量的表面提供了有效的表征策略。

ZYGO 在MEMS器件表征中的應(yīng)用 微機電系統(tǒng)（MEMS）器件的性能高度依賴于其三維幾何形狀。ZYGO ZeGage Pro光學(xué)輪廓儀通過白光干涉技術(shù)，能夠非接觸、高精度地測量MEMS結(jié)構(gòu)的靜態(tài)形貌與動態(tài)特性，為器件的設(shè)計驗證、工藝優(yōu)化及可靠性評估提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)。

ZYGO 技術(shù)發(fā)展趨勢 測量技術(shù)的發(fā)展隨著應(yīng)用需求不斷演進。ZYGO ZeGage Pro所代表的光學(xué)輪廓儀技術(shù)，其未來發(fā)展方向可能圍繞智能化、集成化、高速化等維度展開，以適應(yīng)新的測量挑戰(zhàn)和應(yīng)用場景。

ZYGO 選購指南 選擇合適的測量設(shè)備需要綜合考慮多方面因素。ZYGO ZeGage Pro光學(xué)輪廓儀作為表面形貌測量的一種選擇，其技術(shù)規(guī)格、功能配置、使用條件等都需要結(jié)合具體需求進行評估。

ZYGO 在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用 半導(dǎo)體制造對工藝控制和缺陷檢測有嚴格要求。ZYGO ZeGage Pro光學(xué)輪廓儀以其高分辨率和非接觸測量能力，在晶圓表面檢測、薄膜測量、微結(jié)構(gòu)表征等半導(dǎo)體相關(guān)領(lǐng)域提供測量支持。

ZYGO 數(shù)據(jù)分析方法 測量數(shù)據(jù)的深入分析能夠提取更多信息。ZYGO ZeGage Pro光學(xué)輪廓儀配套的分析軟件提供多種數(shù)據(jù)處理工具，支持用戶從三維形貌數(shù)據(jù)中獲得表面特征的各種參數(shù)和統(tǒng)計信息。