在微納尺度測量領(lǐng)域，高分辨率、非接觸式的表面形貌分析對質(zhì)量控制與科研探索至關(guān)重要。Sensofar S neox作為一款多功能光學3D表面輪廓儀，融合多項*技術(shù)，為用戶提供靈活、高效的測量方案。Sensofar S neox多模式光學3D表面測量微觀

產(chǎn)品細節(jié)與設(shè)計

S neox采用模塊化光學設(shè)計，集成共聚焦顯微鏡（CL）、干涉顯微鏡（IM）和白光垂直掃描（PSI）三種測量模式，可針對不同樣品特性自動切換優(yōu)良測量方式。其緊湊的機身與人性化操作界面，適用于實驗室與工業(yè)現(xiàn)場環(huán)境。

核心性能與特點

• •多模式智能切換：根據(jù)樣品反射率、粗糙度自動選擇CL/IM/PSI模式，實現(xiàn)納米至毫米級高精度測量。

• 
  

• •高分辨率成像：配備高數(shù)值孔徑物鏡，垂直分辨率達0.1 nm，橫向分辨率達0.3 μm。

• 
  

• •高效分析軟件：SensoMAP軟件支持實時3D建模、粗糙度分析（ISO 25178）、臺階高度測量及批量數(shù)據(jù)處理。

材質(zhì)與關(guān)鍵參數(shù)

• •光學系統(tǒng)：多層鍍膜物鏡與低噪聲CMOS傳感器，確保信號穩(wěn)定性。

• 
  

• •機械結(jié)構(gòu)：高剛性鋁合金框架，內(nèi)置主動隔振設(shè)計，減少環(huán)境干擾。

• 
  

• •環(huán)境適應性：工作溫度18-25℃，濕度<70%，支持潔凈室環(huán)境使用。

型號與典型應用

S neox系列包含基礎(chǔ)型與高速型（S neox Plus），適用于：

• •半導體：晶圓刻蝕深度、MEMS器件形貌分析

• 
  

• •精密光學：透鏡表面瑕疵檢測、鍍膜均勻性評估

• 
  

• •材料科學：涂層粗糙度、摩擦磨損研究

• 
  

• •物醫(yī)學：骨骼表面微結(jié)構(gòu)表征

包裝與配件

標準包裝含主機、校準證書、防塵罩、工具套裝及USB?？蛇x配電動旋轉(zhuǎn)臺、溫控樣品臺或防振平臺，滿足特殊需求。

使用流程說明

1.校準：開機后使用標準臺階樣塊進行Z軸校準。

2.測量：放置樣品，軟件自動推薦測量模式或手動選擇。

3.分析：一鍵生成高度圖、截面輪廓或統(tǒng)計參數(shù)報告。

售后服務支持

• •質(zhì)保政策：核心光學部件24個月保修，終身有償維護。

• 
  

• •技術(shù)支持：遠程診斷+現(xiàn)場培訓，提供年度校準服務。

• 
  

• •軟件升級：定期推送新算法與兼容性更新。

結(jié)語

Sensofar S neox通過多技術(shù)融合與智能化操作，為微納制造與科研創(chuàng)新提供可靠數(shù)據(jù)支撐。如需技術(shù)演示或定制方案，歡迎聯(lián)系當?shù)厥跈?quán)服務商。Sensofar S neox多模式光學3D表面測量微觀