產(chǎn)品概述

Sensofar白光干涉儀采用優(yōu)良的光學(xué)干涉技術(shù)，為微納米級表面形貌測量提供可靠解決方案，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、精密制造和材料科學(xué)研究領(lǐng)域。Sensofar白光干涉儀高分辨表面分析解決方案

性能特點

• 非接觸式測量：避免樣品損傷

• 多模式檢測：支持白光干涉、共聚焦和相移干涉模式

• 大范圍測量：Z軸測量范圍可達(dá)數(shù)毫米

• 快速掃描：單次測量時間可控制在秒級

用材與工藝

• 光學(xué)系統(tǒng)：高精度物鏡組，可選2.5X-100X多種倍率

• 機械結(jié)構(gòu)：大理石基座配合精密導(dǎo)軌，確保穩(wěn)定性

• 探測系統(tǒng)：高靈敏度CCD傳感器

參數(shù)表

典型用途

• 半導(dǎo)體晶圓表面缺陷檢測

• MEMS器件三維形貌分析

• 光學(xué)元件表面質(zhì)量評估

• 金屬材料粗糙度測量

使用說明

1. 樣品準(zhǔn)備：確保待測表面清潔無污染

2. 參數(shù)設(shè)置：根據(jù)樣品特性選擇合適的光學(xué)模式和放大倍率

3. 自動對焦：使用軟件自動對焦功能獲取清晰圖像

4. 數(shù)據(jù)分析：通過配套軟件進(jìn)行三維重建和參數(shù)計算

維護(hù)建議

• 定期清潔光學(xué)元件

• 保持工作環(huán)境溫濕度穩(wěn)定

• 避免震動和強磁場干擾

結(jié)語：
Sensofar白光干涉儀以可靠的測量性能和靈活的應(yīng)用配置，為工業(yè)檢測和科研工作提供有力支持。如需了解更多技術(shù)細(xì)節(jié)或測試服務(wù)，歡迎聯(lián)系當(dāng)?shù)丶夹g(shù)支持團(tuán)隊。Sensofar白光干涉儀高分辨表面分析解決方案