BEUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀采用非接觸式測量技術(shù)，適用于微納米級表面形貌分析。其核心部件采用高質(zhì)量光學(xué)鏡頭和穩(wěn)定光源系統(tǒng)，確保測量數(shù)據(jù)的可靠性。BEUKER白光干涉儀：表面形貌測量新選擇 布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀  BEUKER白光干涉儀：表面形貌測量新選擇

產(chǎn)品細(xì)節(jié)與性能

• 光學(xué)系統(tǒng)：配置高分辨率CCD和長壽命LED光源，適應(yīng)不同材質(zhì)表面的測量需求。

• 掃描范圍：垂直掃描范圍可達(dá)10mm，橫向分辨率優(yōu)于0.1μm。

• 軟件支持：配備專業(yè)分析軟件，支持3D形貌重建、粗糙度計算等功能。

用材與參數(shù)

• 主體框架采用鋁合金材質(zhì)，兼顧輕便與穩(wěn)定性。

• 光學(xué)元件經(jīng)過防塵防霉處理，適合實驗室和工業(yè)環(huán)境。

主要型號

• BKI-200：基礎(chǔ)型，適用于常規(guī)科研與質(zhì)檢。

• BKI-300：高精度型，支持更大范圍測量。

用途
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)元件、精密加工等行業(yè)，可用于檢測表面粗糙度、臺階高度、薄膜厚度等。

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