技術(shù)亮點(diǎn)與性能突破

ZYGO白光干涉儀光學(xué)之力重塑工業(yè)檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn) ZYGO白光干涉儀突破傳統(tǒng)設(shè)備的局限性，采用動(dòng)態(tài)相位鎖定技術(shù)與自適應(yīng)光程補(bǔ)償算法，實(shí)現(xiàn)三大核心優(yōu)勢(shì)：

• 超寬動(dòng)態(tài)范圍：支持0.1nm-200μm的垂直測(cè)量跨度，無需切換設(shè)備即可檢測(cè)從原子級(jí)平整表面到微米級(jí)溝槽結(jié)構(gòu)。

• 智能環(huán)境適應(yīng)：內(nèi)置溫度漂移補(bǔ)償模塊（精度±0.01℃/h）與SureScan™振動(dòng)抑制技術(shù)，確保車間環(huán)境下的測(cè)量穩(wěn)定性。

• 多模態(tài)分析：集成共聚焦顯微模塊與偏振干涉選項(xiàng)，可同步獲取表面形貌、膜層應(yīng)力與晶體取向信息。

硬件配置與材料選型

• 光源系統(tǒng)：定制化白光LED陣列（色溫6500K），配合可調(diào)諧濾波器實(shí)現(xiàn)波長范圍400-1000nm連續(xù)調(diào)節(jié)。

• 探測(cè)器：1024×1024像素CMOS相機(jī)（幀率120fps），支持HDR模式下的高動(dòng)態(tài)范圍成像。

• 運(yùn)動(dòng)控制：閉環(huán)直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)XY平臺(tái)（重復(fù)定位精度±0.1μm），搭配納米級(jí)壓電陶瓷Z軸（分辨率0.01nm）。

典型應(yīng)用案例庫

操作流程簡(jiǎn)化設(shè)計(jì)

1. 一鍵式校準(zhǔn)：通過內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)樣塊（臺(tái)階高度100nm±0.5nm）自動(dòng)完成系統(tǒng)標(biāo)定，耗時(shí)＜2分鐘。

2. 智能路徑規(guī)劃：Mx™軟件根據(jù)樣品尺寸自動(dòng)生成掃描軌跡，避免重復(fù)測(cè)量與邊緣效應(yīng)。

3. 云端數(shù)據(jù)管理：支持與ZYGO LABSUITE平臺(tái)無縫對(duì)接，實(shí)現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)上傳與多終端共享。

維護(hù)與售后服務(wù)體系

• 模塊化維護(hù)：光學(xué)頭、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等核心部件采用快速插拔設(shè)計(jì)，現(xiàn)場(chǎng)更換時(shí)間＜30分鐘。

• 預(yù)防性維護(hù)：通過IoT模塊遠(yuǎn)程監(jiān)控設(shè)備狀態(tài)，提前預(yù)警光源衰減、電機(jī)磨損等潛在故障。

• 全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò)：在美國、中國、德國等30個(gè)國家設(shè)立技術(shù)中心，提供72小時(shí)內(nèi)響應(yīng)的現(xiàn)場(chǎng)支持服務(wù)。

型號(hào)擴(kuò)展與定制能力

• ZeGage™系列：緊湊型設(shè)計(jì)（主機(jī)尺寸82×53×53cm），支持桌面化部署，適用于中小批量檢測(cè)場(chǎng)景。

• NewView™系列：分立龍門架構(gòu)支持超大樣品檢測(cè)（最大高度300mm），標(biāo)配5軸自動(dòng)樣品臺(tái)，滿足半導(dǎo)體、光學(xué)行業(yè)的高精度需求。

• NexView™系列：集成True Color™彩色3D成像技術(shù)，可直觀呈現(xiàn)樣品表面紋理與缺陷分布，適用于消費(fèi)電子、汽車行業(yè)的品質(zhì)管控。

ZYGO白光干涉儀以“高適應(yīng)性、易操作、低維護(hù)"為核心設(shè)計(jì)理念，幫助用戶將微納檢測(cè)從專業(yè)實(shí)驗(yàn)室延伸至量產(chǎn)產(chǎn)線，為智能制造提供可靠的質(zhì)量控制手段。其開放式的API接口更支持與SECS/GEM、MES系統(tǒng)集成，助力企業(yè)實(shí)現(xiàn)工業(yè)4.0轉(zhuǎn)型。ZYGO白光干涉儀光學(xué)之力重塑工業(yè)檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)