ZYGO白光干涉儀是基于激光干涉儀原理的高精度光學(xué)表面輪廓測(cè)量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)和質(zhì)量控制領(lǐng)域。該設(shè)備采用優(yōu)良的白光干涉技術(shù)，通過測(cè)量光程差來獲取樣品表面的三維形貌和粗糙度信息。其非接觸式測(cè)量方式避免了對(duì)樣品的物理損傷，適用于多種材料和復(fù)雜表面的測(cè)量。ZYGO白光干涉儀高精度表面測(cè)量解決方案

在性能方面，ZYGO白光干涉儀具備高精度和高分辨率，支持多種測(cè)量模式，如相移干涉（PSI）和垂直掃描干涉（VSI），適用于不同表面特性樣品的測(cè)量。設(shè)備支持多種樣品臺(tái)和自動(dòng)聚焦功能，便于靈活調(diào)整測(cè)量參數(shù)。ZYGO的設(shè)備在光學(xué)系統(tǒng)中采用高線性電容傳感器和閉環(huán)反饋壓電陶瓷，確保測(cè)量的穩(wěn)定性和重復(fù)性。

ZYGO激光干涉儀廣泛應(yīng)用于科研、制造業(yè)和質(zhì)量控制領(lǐng)域，適用于LED、半導(dǎo)體、醫(yī)療設(shè)備、汽車工業(yè)等行業(yè)的表面形貌、粗糙度和三維輪廓測(cè)量。其非接觸式測(cè)量方式確保了樣品的完整性和測(cè)量的可靠性。ZYGO白光干涉儀高精度表面測(cè)量解決方案