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產(chǎn)品中心臺(tái)式電鏡&臺(tái)階儀&原位分析澤攸臺(tái)式掃描電鏡納米尺度分析：ZEM系列臺(tái)式電鏡介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
納米尺度分析：ZEM系列臺(tái)式電鏡介紹澤攸電鏡的JS系列臺(tái)階儀是進(jìn)行納米尺度表面輪廓和膜厚測(cè)量的工具。它與掃描電鏡技術(shù)相結(jié)合，可提供多維度的樣品信息。
產(chǎn)品分類(lèi)
澤攸電鏡的JS系列臺(tái)階儀是進(jìn)行納米尺度表面輪廓和膜厚測(cè)量的工具。它與掃描電鏡技術(shù)相結(jié)合，可提供多維度的樣品信息。納米尺度分析：ZEM系列臺(tái)式電鏡介紹
產(chǎn)品細(xì)節(jié)與性能：
JS系列采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)和柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了探針的平穩(wěn)掃描。測(cè)量力可調(diào)，以適應(yīng)不同硬度樣品的測(cè)量需求，避免對(duì)樣品造成損傷。
核心參數(shù)（JS 400例）：
掃描范圍：100μm × 100μm × 25μm (XYZ)
垂直分辨率：0.1nm
掃描速度：0.01 - 1mm/s
樣品尺寸：直徑≤ 6英寸
用途：
主要用于半導(dǎo)體制造中的膜厚測(cè)量、MEMS器件表面形貌表征、材料表面的粗糙度分析等。
使用簡(jiǎn)述：
選擇并安裝合適的探針，將樣品固定在樣品臺(tái)上。通過(guò)軟件設(shè)定掃描路徑和參數(shù)，系統(tǒng)即可自動(dòng)完成測(cè)量并生成三維輪廓圖。納米尺度分析：ZEM系列臺(tái)式電鏡介
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