徠卡DM8000M顯微鏡使用安全與操作規(guī)范

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徠卡DM8000M顯微鏡使用安全與操作規(guī)范
為確保 DM8000M 在長(zhǎng)期使用中的安全性與檢測(cè)精度，制定了以下操作規(guī)范與安全注意事項(xiàng)。

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更新時(shí)間：2025-10-23

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徠卡DM8000M顯微鏡使用安全與操作規(guī)范

為確保 DM8000M 在長(zhǎng)期使用中的安全性與檢測(cè)精度，制定了以下操作規(guī)范與安全注意事項(xiàng)。

1. 環(huán)境要求

潔凈度：工作區(qū)應(yīng)符合 ISO 4?級(jí)以上潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，避免灰塵進(jìn)入光學(xué)系統(tǒng)。
溫濕度：溫度控制在 20?±?2?℃，相對(duì)濕度 45?±?5?%。溫濕度波動(dòng)過(guò)大可能導(dǎo)致光學(xué)元件的熱膨脹，引起焦距漂移。
電源：使用穩(wěn)壓電源，額定電壓 220?V，頻率 50?Hz，避免電壓波動(dòng)對(duì) LED 光源壽命產(chǎn)生影響。

徠卡DM8000M顯微鏡使用安全與操作規(guī)范

2. 操作流程

步驟	內(nèi)容
① 檢查	確認(rèn)機(jī)身、載物臺(tái)、光源無(wú)異常，檢查電源指示燈是否正常。
② 裝樣	使用防靜電手套，輕柔放置晶圓于專用夾具，確保晶圓中心對(duì)準(zhǔn)載物臺(tái)中心。
③ 軟件設(shè)置	啟動(dòng) Leica LAS，選擇相應(yīng)的觀察模式與放大倍率，設(shè)定掃描區(qū)域。
④ 掃描	啟動(dòng)自動(dòng)掃描，系統(tǒng)完成圖像采集與拼圖。
⑤ 分析	使用缺陷識(shí)別與測(cè)量工具，對(duì)感興趣區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記與尺寸測(cè)量。
⑥ 保存	將圖像、測(cè)量數(shù)據(jù)與報(bào)告保存至指定路徑，完成后關(guān)閉軟件。
⑦ 清理	關(guān)閉光源，取下晶圓，使用無(wú)塵布輕拭載物臺(tái)與光學(xué)元件。

3. 安全注意事項(xiàng)

4. 維護(hù)保養(yǎng)

光源更換：LED 光源壽命約 20?000?小時(shí)，系統(tǒng)會(huì)提前提示更換時(shí)間。更換時(shí)請(qǐng)使用原廠配件。
光學(xué)清潔：每月使用專用光學(xué)清潔紙輕拭物鏡與目鏡，避免使用酒精或其他溶劑。
機(jī)械檢查：每半年檢查滾珠絲杠的潤(rùn)滑情況，必要時(shí)添加專用潤(rùn)滑油。

5. 培訓(xùn)要求

所有操作人員必須通過(guò)廠家提供的基礎(chǔ)培訓(xùn)，掌握儀器的基本結(jié)構(gòu)、操作流程與安全規(guī)范。培訓(xùn)合格后方可獨(dú)立使用儀器。

遵循上述安全與操作規(guī)范，能夠大程度保障 DM8000M 的檢測(cè)精度與使用壽命，為半導(dǎo)體生產(chǎn)提供持續(xù)、可靠的檢測(cè)支持。

徠卡DM8000M顯微鏡使用安全與操作規(guī)范

上一個(gè)：DM8000M徠卡顯微鏡在半導(dǎo)體生產(chǎn)線的典型應(yīng)用