久久午夜羞羞影院免费观看,国产对白嫖老妇搡老太,国产亚洲综合区成人国产,国产精品射射射福利一区

產(chǎn)品中心

PRODUCTS CNTER

當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心三維光學(xué)輪廓儀Sensofarlynx2Sensofar白光干涉儀在微電子檢測應(yīng)用?

Sensofar白光干涉儀在微電子檢測應(yīng)用?

產(chǎn)品簡介

Sensofar白光干涉儀在微電子檢測應(yīng)用?
在微電子和半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，對元件表面形貌的量化控制是工藝流程中的一環(huán)。Sensofar S lynx輪廓儀因其非接觸、高分辨率的特點，在該領(lǐng)域有相應(yīng)的應(yīng)用空間。

產(chǎn)品型號：lynx2
更新時間：2025-10-23
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：134
詳細(xì)介紹在線留言

Sensofar白光干涉儀在微電子檢測應(yīng)用

在微電子和半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，對元件表面形貌的量化控制是工藝流程中的一環(huán)。Sensofar S lynx輪廓儀因其非接觸、高分辨率的特點，在該領(lǐng)域有相應(yīng)的應(yīng)用空間。
具體應(yīng)用場景

  • 硅晶圓與薄膜測量：可用于測量硅晶圓表面的納米級粗糙度（Sa），評估拋光工藝質(zhì)量。通過臺階高度測量功能，量化化學(xué)氣相沉積（CVD）或物理氣相沉積（PVD）等工藝形成的薄膜厚度。

  • 光刻膠圖形表征：在光刻工藝后，可用于測量光刻膠線條的寬度（CD）、高度以及側(cè)壁角度。三維形貌數(shù)據(jù)可為光刻工藝的調(diào)整提供參考信息。

  • MEMS器件形貌分析：對微機電系統(tǒng)（MEMS）器件，如微彈簧、懸臂梁、齒輪等的三維形狀、運動引起的形變、釋放孔深度等進行測量。

  • CMP工藝監(jiān)測：在化學(xué)機械拋光（CMP）工藝后，檢查晶圓表面的平坦度變化和碟形坑、侵蝕等缺陷的深度。
技術(shù)優(yōu)勢體現(xiàn)
在測量光刻膠圖形或薄膜臺階時，S lynx的VSI模式能提供亞納米級的垂直分辨率，有助于精確測量納米級的膜厚變化。其非接觸式測量避免了探針式輪廓儀可能對脆弱結(jié)構(gòu)（如光刻膠）造成的損傷。對于具有高深寬比或陡峭側(cè)壁的MEMS結(jié)構(gòu)，共聚焦模式能夠提供有效的形貌信息。
測量注意事項
測量反射率差異很大的材料（如金屬線條 on 介質(zhì)層）時，可能需要調(diào)整光照強度或使用中性密度濾光片來優(yōu)化信號。對于非常光滑的晶圓表面，確保樣品臺清潔和避免振動對獲得穩(wěn)定的干涉條紋有影響。
總結(jié)
Sensofar S lynx輪廓儀為微電子領(lǐng)域的表面形貌監(jiān)測提供了一種測量手段。其在薄膜厚度、粗糙度、三維結(jié)構(gòu)尺寸等方面的測量能力，可用于支持工藝開發(fā)和質(zhì)量控制流程。


Sensofar白光干涉儀在微電子檢測應(yīng)用


在線留言

留言框

  • 產(chǎn)品：

  • 您的單位：

  • 您的姓名：

  • 聯(lián)系電話：

  • 常用郵箱：

  • 省份：

  • 詳細(xì)地址：

  • 補充說明：

  • 驗證碼：

    請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

服務(wù)熱線：17701039158
公司地址：北京市房山區(qū)長陽鎮(zhèn)
公司郵箱：qiufangying@bjygtech.com

掃碼加微信

Copyright©2025 北京儀光科技有限公司 版權(quán)所有    備案號：京ICP備2021017793號-2    sitemap.xml

技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng)    管理登陸

服務(wù)熱線
17701039158

掃碼加微信

万载县| 海原县| 海伦市| 昌江| 津南区| 封开县| 荔波县| 高密市| 浦江县| 孝感市| 安义县| 济源市| 奈曼旗| 福贡县| 武义县| 普定县| 栖霞市| 水富县| 宁晋县| 景德镇市| 阿尔山市| 武穴市| 郧西县| 浦北县| 重庆市| 赤城县| 中阳县| 武强县| 尼勒克县| 泾阳县| 武山县| 彩票| 维西| 丹巴县| 罗定市| 敦化市| 洛扎县| 楚雄市| 永春县| 九寨沟县| 冕宁县|