ZeGage Pro作為一種通用的表面形貌測量儀器，其應(yīng)用范圍覆蓋了眾多需要定量表面分析的領(lǐng)域。

光學(xué)制造與檢測： 在光學(xué)行業(yè)，它被用于測量透鏡、棱鏡、反射鏡等光學(xué)元件的表面粗糙度和面形精度。同時，它可以測量增透膜、高反膜等光學(xué)薄膜的表面質(zhì)量和厚度，為薄膜工藝的優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支持。

半導(dǎo)體與微電子： 在半導(dǎo)體制造中，ZeGage Pro可以用于測量硅晶圓的翹曲度（Warpage）和彎曲度（Bow），以及芯片焊盤的共面性。它還能對CMP（化學(xué)機械拋光）后的晶圓表面進(jìn)行平坦度評估，并對光刻膠等薄膜的厚度進(jìn)行測量。

材料科學(xué)研究： 研究人員利用ZeGage Pro來表征各種新材料表面的微觀結(jié)構(gòu)，例如復(fù)合材料、涂層、陶瓷和金屬等。通過分析磨損試驗前后表面的形貌變化，可以研究材料的耐磨性能。對生物材料（如人骨、牙科材料）的表面粗糙度進(jìn)行測量，有助于評估其生物相容性。