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ZYGO 3D光學輪廓儀的使用與維護要點正確的操作和定期的維護是保證ZeGage Pro長期穩(wěn)定運行和測量數據可靠性的重要環(huán)節(jié)。
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正確的操作和定期的維護是保證ZeGage Pro長期穩(wěn)定運行和測量數據可靠性的重要環(huán)節(jié)。
使用環(huán)境要求： 儀器應放置在清潔、干燥、無腐蝕性氣體的環(huán)境中。工作臺需要穩(wěn)固，以盡可能減少振動。環(huán)境溫度應保持穩(wěn)定，避免陽光直射和空調出風口的直接吹拂，劇烈的溫度波動會影響測量的穩(wěn)定性。
開機與準備： 開機前，檢查電源線和網線連接是否牢固。開機后，系統會進行自檢，建議預熱一段時間（如30分鐘），讓光學系統和光源達到穩(wěn)定狀態(tài)。每次測量前，檢查樣品臺是否清潔，樣品是否固定穩(wěn)妥。
測量流程簡述：
放置樣品： 輕拿輕放，避免碰撞物鏡和樣品臺。
軟件操作： 打開MetroPro軟件，連接儀器。使用實時視頻找到待測區(qū)域。
選擇物鏡： 根據所需視野和分辨率，通過軟件切換合適的物鏡。
調整光強： 使用軟件的自動或手動光強調節(jié)功能，確保干涉條紋清晰且信號強度適中。
設置參數： 設置掃描長度和采樣間隔。對于不熟悉的樣品，可先使用自動掃描功能。
開始測量： 點擊開始，儀器將自動完成掃描。測量過程中應避免觸碰工作臺。
數據分析： 測量完成后，在軟件中使用相應的工具進行處理和分析，并保存數據和報告。
日常維護：
清潔： 定期用軟毛刷或吹氣球清除樣品臺和儀器外部的灰塵。物鏡鏡片是精密光學部件，如有污染，需使用專用的鏡頭紙和清潔劑，按照規(guī)范輕輕擦拭。
校準： 為保證測量精度，建議按照廠家推薦的周期，使用標準參考件（如階梯高度標準板）對儀器進行垂直標定和橫向標定。
存放： 長期不使用時，應蓋上防塵罩，并將儀器存放在符合環(huán)境要求的地方。
遵循這些操作和維護指南，可以有效延長ZeGage Pro的使用壽命，并確保其始終處于合適的工作狀態(tài)
