布魯克三維光學(xué)輪廓儀整體結(jié)構(gòu)與機(jī)身用材

二、核心部件用材與性能

（一）光學(xué)系統(tǒng)用材

1. 物鏡組：鏡片選用高折射率低色散玻璃（SK 系列），多層鍍膜（每層厚度 80-180nm），透光率超 97%，有效降低色差與雜光影響。物鏡外殼為 304 不銹鋼，加工精度達(dá) IT5 級，同軸度誤≤0.012mm，確保光路精準(zhǔn)，適配 2.5X-50X 不同倍率需求。

2. 干涉儀模塊：核心分光棱鏡為石英材質(zhì)，耐溫范圍 - 40℃-220℃，折射率穩(wěn)定性優(yōu)異；分光膜采用 dielectric 涂層，分光比誤≤2.5%，保障干涉信號穩(wěn)定，支撐 0.05nm 垂直分辨率測量。

3. 光源組件：采用高亮度貼片式 LED 燈珠（單顆功率 0.8W，壽命 45000 小時），散熱外殼為 6061 鋁合金，帶密集鰭片（間距 1.8mm），連續(xù)工作 3 小時溫度升幅≤14℃，避免亮度衰減。

（二）樣品臺用材

三、部件維護(hù)要點

1. 光學(xué)部件：物鏡每次使用后需用專用鏡頭紙蘸鏡頭清潔劑（型號 CX500-CL01）擦拭，禁止用普通紙巾；干涉儀棱鏡每季度用壓縮氣（壓力≤0.28MPa）吹清灰塵，避免擦拭損傷鍍膜。

2. 樣品臺：導(dǎo)軌每 1.5 個月涂專用鋰基潤滑脂（型號 CX500-GR01），涂抹量以覆蓋導(dǎo)軌表面薄層為宜；手動調(diào)節(jié)旋鈕若出現(xiàn)松動，需及時緊固螺絲，防止傳動精度下降。

3. 機(jī)身：外殼避免接觸有機(jī)溶劑（如酒精、丙酮），防止涂層脫落；腳墊磨損后需及時更換（原廠型號 CX500-F01），確保設(shè)備水平放置。