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產(chǎn)品中心三維光學輪廓儀SensofarS?neoxSensofar三維光學輪廓儀突破實驗室應(yīng)用限制
產(chǎn)品簡介
Sensofar三維光學輪廓儀突破實驗室應(yīng)用限制S neox具備優(yōu)異的環(huán)境適應(yīng)性，可在多種復(fù)雜環(huán)境下穩(wěn)定工作。設(shè)備采用工程塑料與金屬支撐結(jié)構(gòu)，兼顧輕量化與抗沖擊性能，抗振動性能優(yōu)異。
產(chǎn)品分類
Sensofar三維光學輪廓儀突破實驗室應(yīng)用限制
S neox具備優(yōu)異的環(huán)境適應(yīng)性，可在多種復(fù)雜環(huán)境下穩(wěn)定工作。設(shè)備采用工程塑料與金屬支撐結(jié)構(gòu)，兼顧輕量化與抗沖擊性能，抗振動性能優(yōu)異。環(huán)境控制艙可調(diào)節(jié)溫度波動±0.3℃、濕度±1%，適配光學晶體等敏感樣品檢測。在振動幅度超100nm環(huán)境下，設(shè)備仍能穩(wěn)定工作，確保檢測精度。軟件支持環(huán)境補償功能，可自動校準溫度、濕度對測量結(jié)果的影響。設(shè)備還配備遠程升級與故障診斷功能，通過VPN連接實現(xiàn)即時技術(shù)支持，滿足跨地域使用需求。在生產(chǎn)車間環(huán)境中，S neox可適應(yīng)溫度波動與振動干擾，確保長時間連續(xù)工作下的檢測精度與穩(wěn)定性。
型號與配置
S?neox?3：經(jīng)濟型，配備 20× 共聚焦物鏡，適用于常規(guī)表面粗糙度檢測。
S?neox?5：多功能型，標配 150× 高 NA 物鏡，支持高分辨率微結(jié)構(gòu)分析。
S?neox?Pro：全套配置，含 500?W 高功率 LED、雙通道信號融合模塊，滿足工業(yè) 4.0 生產(chǎn)線集成。
典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體晶圓：薄膜厚度、刻蝕坑形貌、光刻對準誤差檢測。
光學元件：透鏡表面粗糙度、鍍膜均勻性、AR 薄膜厚度。
MEMS 器件：微：微齒輪、懸臂梁的三維形貌與尺寸公差。
生物醫(yī)學材料：植入物表面紋理、組織支架孔徑分布。
汽車零部件：發(fā)動機缸蓋、氣門座的表面質(zhì)量評估。
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