Sensofar S neox：潔凈室中的測量方案
半導體等行業(yè)的潔凈生產環(huán)境，對檢測設備有特殊要求，S neox系列中的潔凈室適配型號恰好滿足這類需求。產品細節(jié)上，該型號的測量傳感器符合 ISO 1 級潔凈室標準，機身采用不銹鋼外殼，能最大限度減少顆粒排放，避免污染生產環(huán)境。整體結構經過密封優(yōu)化，縫隙處采用防塵設計，減少灰塵進入設備內部影響精度。操作面板采用防水防污材質，便于在潔凈室中清潔維護。
性能方面，它通過 SEMI S2、S8 等半導體行業(yè)標準認證，以及 TüV 萊茵 land 認證，適合半導體表征等嚴苛場景。延續(xù)的 “3-in-1" 技術能適配晶圓、顯示面板等不同樣品，亞納米級的測量能力可滿足精密檢測需求。搭配閉環(huán) XY 龍門設計，即使測量大尺寸樣品，也能保持穩(wěn)定表現。
用材上，除了核心光學部件的高純度玻璃與增透膜，設備內部采用低揮發(fā)材質，避免污染物釋放。機械傳動部件經過特殊潤滑處理，減少顆粒產生，契合潔凈環(huán)境要求。
潔凈室適配參數簡表
該型號屬于 S neox Grand Format 系列，XY 軸行程 600×600mm，移動速度 1m/s，適合大尺寸半導體晶圓、顯示面板檢測。使用時需遵循潔凈室操作規(guī)范，定期用專用清潔劑擦拭外殼，模塊維護需在潔凈工作臺進行，確保設備與環(huán)境的兼容性。
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