Sensofar白光干涉光學(xué)輪廓儀的測(cè)量模式白光干涉光學(xué)輪廓儀通常配備多種測(cè)量模式，以適應(yīng)不同表面特性的樣品。Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀將共聚焦、白光干涉和相位差干涉等多種技術(shù)集成于一體，用戶(hù)可以通過(guò)軟件一鍵切換，無(wú)需更換硬件組件。

白光干涉模式適用于光滑表面和具有高深寬比結(jié)構(gòu)的測(cè)量。在這種模式下，儀器通過(guò)垂直掃描捕獲干涉條紋，利用干涉信號(hào)的對(duì)比度變化來(lái)計(jì)算表面高度信息。白光干涉模式能夠提供亞納米級(jí)的縱向分辨率，適合測(cè)量超光滑表面的平面度和粗糙度。

共聚焦模式則更適合測(cè)量?jī)A斜角較大的漫反射表面或粗糙表面。該模式利用激光的共聚焦原理，通過(guò)逐點(diǎn)掃描的方式獲取表面形貌數(shù)據(jù)。共聚焦模式具有較高的橫向分辨率，能夠測(cè)量近乎垂直的斜坡面形貌，這對(duì)于某些工業(yè)應(yīng)用來(lái)說(shuō)非常有用。

相位差干涉模式是另一種常用的測(cè)量方式，它通過(guò)分析干涉信號(hào)的相位信息來(lái)提取表面高度數(shù)據(jù)。這種模式適用于測(cè)量表面高度變化較小的樣品，能夠提供較高的縱向分辨率。相位差干涉模式通常與白光干涉模式結(jié)合使用，以擴(kuò)展儀器的測(cè)量范圍。

Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀還引入了融合共聚焦掃描模式，將共聚焦和多焦面疊加兩種技術(shù)的優(yōu)勢(shì)結(jié)合起來(lái)。這種模式能夠測(cè)量最大86度的斜坡，同時(shí)保持納米級(jí)的縱向精度，為復(fù)雜表面的測(cè)量提供了更多可能性。

此外，儀器還配備了智能噪音檢測(cè)功能，能夠識(shí)別并消除測(cè)量過(guò)程中的不可靠數(shù)據(jù)像素，提高圖像質(zhì)量。與傳統(tǒng)的空間平均技術(shù)相比，這種逐像素處理的方法可以在不損失橫向分辨率的情況下減少噪點(diǎn)。

用戶(hù)可以根據(jù)樣品的表面特性選擇最合適的測(cè)量模式。例如，對(duì)于半導(dǎo)體晶片等光滑表面，白光干涉模式可能更合適；而對(duì)于模具表面等粗糙樣品，共聚焦模式可能更能滿(mǎn)足測(cè)量需求。Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀的多模式設(shè)計(jì)使其能夠適應(yīng)從粗糙到超光滑的各種表面測(cè)量任務(wù)。

總之，白光干涉光學(xué)輪廓儀通過(guò)提供多種測(cè)量模式，為用戶(hù)提供了靈活的表面形貌測(cè)量解決方案。這種多功能性使其能夠應(yīng)對(duì)不同行業(yè)的多樣化需求，從實(shí)驗(yàn)室研究到工業(yè)生產(chǎn)線(xiàn)都能發(fā)揮其作用。Sensofar白光干涉光學(xué)輪廓儀的測(cè)量模式