白光干涉儀S neox的深孔測(cè)量探索

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白光干涉儀S neox的深孔測(cè)量探索：Sensofar S neox通過(guò)5軸傾斜測(cè)量與長(zhǎng)工作距離物鏡，優(yōu)化深孔內(nèi)部光路，實(shí)現(xiàn)對(duì)微米級(jí)孔洞深度與形貌的非接觸式精確測(cè)量。

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更新時(shí)間：2025-11-18

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三維光學(xué)輪廓儀

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白光干涉儀S neox：微透鏡陣列表征的精密利器

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白光干涉儀S neox的深孔測(cè)量探索

測(cè)量高深寬比結(jié)構(gòu)，特別是深孔的深度、孔底形貌和側(cè)壁粗糙度，是表面計(jì)量中的一項(xiàng)難點(diǎn)。光學(xué)方法容易受到衍射效應(yīng)和光線無(wú)法到達(dá)底部的限制。Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀結(jié)合其5軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)和光學(xué)技術(shù)特點(diǎn)，為一定范圍內(nèi)的深孔測(cè)量提供了可嘗試的方案。

對(duì)于深孔測(cè)量，最大的挑戰(zhàn)是讓光線能夠到達(dá)孔底并被探測(cè)器接收。S neox的5軸系統(tǒng)允許將樣品傾斜一個(gè)角度，使物鏡的光軸不再垂直于樣品表面，而是以一個(gè)傾斜角度入射光線。這種方式有時(shí)可以幫助光線“繞過(guò)"孔口的遮擋，照亮更深的區(qū)域，從而可能探測(cè)到孔底部的信息。

此外，物鏡的選擇至關(guān)重要。通常，長(zhǎng)工作距離的物鏡是測(cè)量深孔結(jié)構(gòu)的必要條件，因?yàn)樗峁┝烁蟮目臻g，允許光線以一定傾斜角進(jìn)入孔內(nèi)。S neox的多物鏡轉(zhuǎn)盤使用戶可以根據(jù)孔的直徑和深度，靈活選擇合適的工作距離和倍率。

在測(cè)量模式上，共聚焦模式對(duì)散射光的抑制能力可能有助于在深孔內(nèi)獲得信噪比更好的信號(hào)。而白光干涉模式在能夠獲得清晰干涉信號(hào)的情況下，則能提供更高的垂直分辨率。

需要注意的是，光學(xué)方法測(cè)量深孔存在物理極限。當(dāng)孔的深寬比非常大時(shí)，光的衍射和遮擋效應(yīng)會(huì)變得非常顯著，可能導(dǎo)致測(cè)量失敗。此時(shí)，可能需要借助其他測(cè)量技術(shù)。

盡管如此，對(duì)于許多具有微米級(jí)孔徑和中等深寬比的微孔結(jié)構(gòu)，Sensofar S neox通過(guò)其5軸傾斜功能和多種物鏡選擇，提供了進(jìn)行非接觸測(cè)量的可能性，為MEMS器件、噴墨打印頭噴嘴、精密模具等領(lǐng)域的內(nèi)部結(jié)構(gòu)表征提供了了一種技術(shù)路徑。